外延层的杂质分布
外延层必须是经过掺杂的单晶层。从器件制造的角度考虑，总希望外延层具有均匀的一定量的单一杂质分布，而且要求外延层与衬底界面处杂质分布浓度陡峭一些。
sicl4氢还原法外延由于在高达1200℃高温下进行，衬底与外延层中杂质相互扩散，从而使衬底与外延层形成杂质浓度缓变分布，这就是外延中的扩散效应。这种效应是可逆的，生成的hcl对硅有腐蚀作用。在衬底腐蚀的同时其中杂质就释放出来，加之在高温外延过程中，高掺杂衬底中的杂质也会挥发，此外整个外延层系统中也存在杂质的沾污源，这三种因素造成的自掺杂效应严重影响了外延的杂质分布，外延电阻率做高也不容易。
sih4热分解法反应温度低，其化学反应激活能是1.6ev，比sicl4小0.3ev，可以在1100℃时获得与1200℃下sicl4反应时相当的生长速率，同时这种方法不产生hcl，无反应腐蚀问题，因而扩散效应和自掺杂现象不如sicl4严重。如果采用“背封”技术和“二步法”外延，用sih4热分解法就能获得较为理想的突变结和浓度分布。
如何维护《新式》反冲洗过滤器
优质佛山龙江镇到天津物流公司,专业佛山龙江镇到天津物流专线
南通到隆安县物流专线『天天发车』_南通到南宁隆安县物流专线公司
雄安新区养殖场污水处理设备厂家报价
邯郸到平度物流专线货运_专业邯郸到平度物流公司
外延层的杂质分布
白水泥白度计BSN-1标准D65光源参数
中山到桂林直达货运专线_中山到桂林物流货运专线
桐庐到三明物流公司直达货运,桐庐到三明物流专线
液相色谱对流动相选择的一般要求
溧阳到重庆沙坪坝区物流专线_溧阳到沙坪坝区物流公司【货运直达】
南京到新田县专线物流_南京到永州新田县专线_南京到新田县物流专线
解析GB/T2410国标对透光率雾度仪的具体要求
维修烟囱 凉水塔美化防腐
增压密封试验机的设计原理
扫二维码会引起加油站爆炸吗？
日农牌中耕管理机日常保养事宜
工业100p的螺杆低温冷冻机降温与散热说明
杭州临平区到井陉物流专线_杭州临平区到石家庄井陉物流直达专线
不锈钢无菌储罐的相关知识普及
sicl4氢还原法外延由于在高达1200℃高温下进行，衬底与外延层中杂质相互扩散，从而使衬底与外延层形成杂质浓度缓变分布，这就是外延中的扩散效应。这种效应是可逆的，生成的hcl对硅有腐蚀作用。在衬底腐蚀的同时其中杂质就释放出来，加之在高温外延过程中，高掺杂衬底中的杂质也会挥发，此外整个外延层系统中也存在杂质的沾污源，这三种因素造成的自掺杂效应严重影响了外延的杂质分布，外延电阻率做高也不容易。
sih4热分解法反应温度低，其化学反应激活能是1.6ev，比sicl4小0.3ev，可以在1100℃时获得与1200℃下sicl4反应时相当的生长速率，同时这种方法不产生hcl，无反应腐蚀问题，因而扩散效应和自掺杂现象不如sicl4严重。如果采用“背封”技术和“二步法”外延，用sih4热分解法就能获得较为理想的突变结和浓度分布。
如何维护《新式》反冲洗过滤器
优质佛山龙江镇到天津物流公司,专业佛山龙江镇到天津物流专线
南通到隆安县物流专线『天天发车』_南通到南宁隆安县物流专线公司
雄安新区养殖场污水处理设备厂家报价
邯郸到平度物流专线货运_专业邯郸到平度物流公司
外延层的杂质分布
白水泥白度计BSN-1标准D65光源参数
中山到桂林直达货运专线_中山到桂林物流货运专线
桐庐到三明物流公司直达货运,桐庐到三明物流专线
液相色谱对流动相选择的一般要求
溧阳到重庆沙坪坝区物流专线_溧阳到沙坪坝区物流公司【货运直达】
南京到新田县专线物流_南京到永州新田县专线_南京到新田县物流专线
解析GB/T2410国标对透光率雾度仪的具体要求
维修烟囱 凉水塔美化防腐
增压密封试验机的设计原理
扫二维码会引起加油站爆炸吗？
日农牌中耕管理机日常保养事宜
工业100p的螺杆低温冷冻机降温与散热说明
杭州临平区到井陉物流专线_杭州临平区到石家庄井陉物流直达专线
不锈钢无菌储罐的相关知识普及