离子溅射仪原理及常见故障
离子溅射仪是一种镀膜装置，能够被扫描电镜、电子探针等仪器用来对试样进行制备，是教学科研实验得以开展的仪器。离子溅射仪拥有紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。其原理是以荷能正离子对靶电极轰击使得溅射现象产生为基础，在基台上样品表面靶被溅射出来的中性原子沉淀成膜，使得导电层形成。
离子溅射仪通常为二级结构，通过台和样品架为正电极连接仪器外壳并且接地，负电极(加负高压)为溅射靶电极。真空腔在玻璃罩内安装好后，当腔内达到一定的真空度，在电场加速下得到充足的能量后，对负电极上的靶面进行轰击，靶面被溅射后，原子在基台的样品表面沉淀形成导电膜。
离子溅射仪常见故障：
1.使用一段时间后，溅射电流变小：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查，若是靶材变色或破裂，要对靶材进行更换；若是有油污，则用无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空；
2.在使用一段时间以后，有着过低的真空：检查溅射室中或管道内是否有油，可以使用汽油进行清洗；
3.溅射电流不稳定忽高忽低：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整；
4.过低的真空：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧；
5.真空泵出现反油现象：机械真空泵长期保持极限真空。
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2.在使用一段时间以后，有着过低的真空：检查溅射室中或管道内是否有油，可以使用汽油进行清洗；
3.溅射电流不稳定忽高忽低：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整；
4.过低的真空：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧；
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