椭圆偏振测厚仪规格参数
椭圆偏振测厚仪 型号：tpy-1
仪器介绍采用消光法手动调节，自动测量薄膜厚度和折射率，精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能，方便用户使用。规格参数测量范围薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10测量厚度小示值（nm）≤1偏振器方位角范围0°-180°读取分辨率为0.05°测量膜厚精度（nm）±1折射率重复性精度±0.01入射角调节范围20°～90°精度为0.05°入射光波长（nm）632.8光学中心高（mm）80允许样品尺寸（mm）φ10-φ140，厚度≤15外形尺寸（mm）590*390*290主机重量（kg）25
配置表
型号
名称
数量
基本配置
tpy-1
椭圆偏振测厚仪主机
1台
tpy-1
主机电控箱
1套
二氧化硅膜样片
1片
tpy-1
椭圆偏振测厚仪软件
1套
需另配
计算机及打印机
1套
关键词：测厚仪
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数量
基本配置
tpy-1
椭圆偏振测厚仪主机
1台
tpy-1
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1套
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1片
tpy-1
椭圆偏振测厚仪软件
1套
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