真空碳管烧结炉为立式炉体,最高加热温度1700℃,其功能主要分真空系统和加热系统两个模块,真空实现的原理先是通过机械泵对泵体和炉内抽低真空,利用两级蝶阀控制系统将炉内真空度降低至20pa以下。再通过加热扩散泵抽至实验所需的高真空状态。加热系统由大电流变压器和电控柜实现,炉内温度经钨铼热偶测得后在数显程序仪表上显示。温控系统则有数字控制器控制,可将多级加热过程进行编程,一体控制。真空碳管烧结炉开炉前的检查可先打开控制盒中的进水,出水,冷却及风扇开关,检查进水泵,出水泵,冷却塔上冷却风扇和排气扇是否正常工作。然后开启控制柜总电源开关,检查控制柜电源指示灯是否点亮及柜内柜内散热风扇工作是否正常。实验需充保护气体时,要准备充足的气源,气瓶、减压阀及管路连接要安全可靠。与炉体充气阀门的充气口相连后,先检查是否漏气,方可按要求使用。检查后依次打开控制盒中的进水、出水、冷却、风扇及照明开关(最右边为照明灯开关,晚上实验时打开使用)。
装试样时将试样平稳放在炉底石墨平台上。坩埚烧制样品时底部先用石墨条做支垫,再将坩埚放到炉底石墨平台上。注意试样不能与周围发热体接触,以免让发热体发生短路,损坏发热体。
抽真空时要关闭所有阀门,开机械泵,十秒后打开慢慢打开上1号蝶阀,当真空压力表指针到负0.1mpa时缓慢开启打开下2号蝶阀,一分钟后再缓慢开启扩散泵,加热45分钟后打开真空计。当数显真空计低于20pa时,先关闭上1号蝶阀,再打开3号主挡板阀,真空计会迅速变为负数(抽高真空完成)。
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