日本ULVAC CFB-1600K抗冲击分子泵技术资料
日本ulvac cfb-1600k抗冲击分子泵一、产品简介
cfb-k系列抗冲击分子泵转子采用国家新型加工而成，提高了叶齿强度，分子泵高速旋转时可以抵抗瞬时5000pa的大气冲击和粉尘，广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。
日本ulvac cfb-1600k抗冲击分子泵二、产品特点
具有高压强、抽速大的特点，对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-1600k抗冲击分子泵三、主要性能指标
型号
cfb-1600k
订货号
3183
3184
进气口法兰
—
lf250
cf250
排气口法兰
—
kf50
抽气速率
l/s
1600
压缩比n2/h2
—
1×109/1×104
极限压强
pa
5×10-7
8×10-8
电机转速
rpm
21000
启动时间
min
＜6
轴承
—
陶瓷轴承
前极泵
l/s
15
振动值
μm
≤0.15
冷却水温度
℃
≤25
泵体烘烤温度
℃
<120
冷却水流量
l/min
1
泵口耐压
pa
7000
加热器输入电压
v
ac220
安装方向
—
垂直±5°
重量
kg
～35
四、特性曲线及安装尺寸
cfb系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线
cfb系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线
cfb系列抗冲击分子泵安装尺寸表
型号规格
cfb-1600k
进气口法兰
lf250
cf250
d1
ф290
ф305
d2
ф296
ф296
d3
□183.8
□183.8
l1
161
161
l2
166
166
h1
394
394
h2
110
110
h3
142.5
142.5
h4
104
104
关键词：加热器
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型号
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—
lf250
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排气口法兰
—
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抽气速率
l/s
1600
压缩比n2/h2
—
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极限压强
pa
5×10-7
8×10-8
电机转速
rpm
21000
启动时间
min
＜6
轴承
—
陶瓷轴承
前极泵
l/s
15
振动值
μm
≤0.15
冷却水温度
℃
≤25
泵体烘烤温度
℃
<120
冷却水流量
l/min
1
泵口耐压
pa
7000
加热器输入电压
v
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安装方向
—
垂直±5°
重量
kg
～35
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型号规格
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进气口法兰
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d1
ф290
ф305
d2
ф296
ф296
d3
□183.8
□183.8
l1
161
161
l2
166
166
h1
394
394
h2
110
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