icp-ms由高温离子源(等离子体)、质谱仪(通常是四极杆质量过滤器)和检测器组成。等离子体处于大气压下,质谱仪和检测器位于真空室中,因此icp-ms还需要一个接口和离子透镜传递离子通过系统。基本原理:将液体样品泵入雾化器形成气溶胶,再随气流进入等离子体。等离子体是一种高温电火花,可蒸发样品材料,然后使元素原子化和离子化。离子通过一个接口进入真空室,再通过离子透镜和碰撞/反应池 (crc) 与光子、中性粒子、干扰离子分离。分析物离子由四极杆质量过滤器分选,每个质量都被传递到检测器进行计数。icp-ms仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外,与发射光谱中使用的基本相同。所使用的质量分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆gc-ms仪器相类似。试样是在常压下引入,外部离子源,即离子并不处在真空中;等离子体的温度很高,使试样完全蒸发和解离;试样原子电离的百分比很高;产生的主要是一价离子;离子能量分散小;离子源处于低电位,可配用简单的质量分析器。正因为icp-ms具有优良的分析性能,称为元素分析中重要的分析技术之一。
icp-ms技术具备更低的检出限、更宽的动态线性范围、更少的干扰、较高的分析精密度和分析速度等优点,并可提供精确的同位素信息。
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