美国联邦标准FS209的空气洁净度级别
级别名称
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
5um
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
单位
英制单位
(m3)(ft3)
(m3)(ft3)
(m3)(ft3)
(m3) (ft3)
(m3) (ft3)
m1.5
1
1240 35.3
265 7.50
106 3.00
35.3 1.00
.......
m2.5
10
1240 350
26500 750
1060 30.0
353 10.0
.......
m3.5
100
... ...
26500 750
10600 300
3530 100
.......
m4.5
1000
... ...
... ...
... ...
35300 100
247.7 7.00
m5.5
10000
... ...
... ...
... ...
353000 1000
2470 70.0
m6.5
100000
... ...
... ...
... ...
3530000 100000
247000 700
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106 3.00
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