电子显微镜X射线泄漏剂量标准
电子显微镜 x射线泄漏剂量
范围
本标准规定了电子显微镜 （以下简称电镜）x射线泄漏剂量、试验方法及检验规则。
本标准适用于透射、扫描、反射扫描和电子探针等不同类型的电镜。
2 要求
电镜x射线泄漏的空气吸收剂量率不应大于2.5pgy/ho
3 试验方法
3.1试验设备
带有修正因子指（校正x射线）x射线剂量率仪，其等级为二级。zui小挡刻度值不能大于1ugy/ha
用于检测的x射线剂量率仪必须经过法定*的计量检定，并取得合格证书。有效期内的检测仪
器经可能涉及计量精度的重大维修后，必须重新进行计量检定。
3.2 试验程序
3.2.1将试验电镜加速电压调到zui高挡，选用zui大正常工作束流和zui大束斑。
3.2.2 将聚光镜调整到正常工作状态，放大倍率调到zui低挡，并将活动光阑全部退出。对扫描电镜和
电子探针等则应以钨为样品将吸收电流调到zui大值。
3.2.3 试验部位为照相室、观察室、样品室、活动光阑、电子枪 （电镜加速电压等于或大于400kv的电
子枪被测部位指隔离层）、真空管道、显像管、镜筒及其附属装置。在试验样品室以上的部位时，则应将
物镜活动光阑插人电子束通道。
3.2.4将x射线剂量率仅在离开试验部位50mm处作缓缓移动，测出其x射线zui大泄漏的空气吸收
剂量率。
4 检验规则
逐台进行检验。
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2 要求
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3.2 试验程序
3.2.1将试验电镜加速电压调到zui高挡，选用zui大正常工作束流和zui大束斑。
3.2.2 将聚光镜调整到正常工作状态，放大倍率调到zui低挡，并将活动光阑全部退出。对扫描电镜和
电子探针等则应以钨为样品将吸收电流调到zui大值。
3.2.3 试验部位为照相室、观察室、样品室、活动光阑、电子枪 （电镜加速电压等于或大于400kv的电
子枪被测部位指隔离层）、真空管道、显像管、镜筒及其附属装置。在试验样品室以上的部位时，则应将
物镜活动光阑插人电子束通道。
3.2.4将x射线剂量率仅在离开试验部位50mm处作缓缓移动，测出其x射线zui大泄漏的空气吸收
剂量率。
4 检验规则
逐台进行检验。
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