恒奥的仪器恒温恒湿箱原理校准
原理
pirani皮拉尼真空计构造。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为qg,qr,qs,则平衡状态下时以下公式成立
q = i2r = qg + qr + qs (1)
q是单位时间细线放出的热量,r是细线的电阻,i是细线的电流。
气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,qg通过自由分子的热传导被表示为
qg = αλπda(t-t0)p (2)
t和t0分别为细线和金属圆筒的温度,p为气体压力,a是细线长度。 剩下的qs和qr可以分别表示如下
qs = sκ(t-t0)/l (3)
qr = πdaσε(t4-t04) (4)
(3)是电极的热传导,其中s是细线的断面积,κ是固体的传导率,l是电极的长度。
(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持t和t0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用i02r表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为
i2r = ap + i02r (5)
a = αλπda(t-t0) (6)
i0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。a式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻r,电流i0及定数a,则可以通过(5)式求得压力p。
校准
一般先校准零点,再进行满度校准。
(1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空,一旦电离规测得真空度高于1.0^-1pa(如9.9 x10^-2pa),按“校零”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正零点,当显示1.0^-1pa时,表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。
(2)满度校正。校准完零点后,需对其满度校正。按满度校正过程要求,对被测炉腔放人大气,确保被校电阻规所测位置为大气状态,在大气压下工作约10分钟。按“满度”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正满度,当显示1.0^5 pa时,表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整
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