tomei giken激光干涉仪介绍分析
tomei giken制造和销售自己的超小型(akion)干涉仪。 我们提供各种入射孔径的fizeau型激光干涉仪,例如4英寸(φ100毫米),6英寸(φ150毫米)和1.5英寸(φ38毫米)。使用参考透镜,可以测量和评估抛光表面,例如玻璃平面、晶圆、反射镜和具有小到大孔径的透镜球,精度为 λ/20。
ak-100zf 激光干涉仪机身:4英寸(φ100)
超紧凑型 4“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 4英寸(100毫米) 外部尺寸 宽340x长190x高260毫米
光源 氦氖激光 (633nm) 质量 约 14 公斤
放大 1倍~6倍(手动变焦) 传感器 标准:640 × 480 像素
参考透镜(参考球面)精度 λ/20 权力 交流100v 50/60hz 1a
传感器可根据要求更改为3m像素。
ak-100zf/球形系统:4英寸(φ100)
超紧凑的 4“ fizeau 激光干涉仪系统。具有 6 倍变焦机制的高品质机器。干涉仪垂直型是基本型,但我们也可以制造干涉仪垂直型或干涉仪水平型。
测量校准 4英寸(100毫米) 测量行程 标准:约600mm(特殊订单:约800mm)
光源 氦氖激光 (633nm) 样品安装台 φ120毫米
放大
1倍~6倍(手动变焦)
样品制备 5轴载物台(α,β倾斜,x,y,z移位)
参考透镜(参考球面)精度 λ/20 安装体积(包括隔振台) 宽1000x长900x高2000mm
隔振台可改为台式主动隔振台(*) 测量行程长度不包括镜头安装夹具的高度(*) 安装体积不包括pc 机架。
ak-100zf/牛顿格子系统:4“ (φ100)
超紧凑型 4“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机制的高品质机器。作为牛顿检查器,增强了支架的刚性和稳定性,并将干涉仪主体放置在底部。
測定口径 4inch (100mm) 測定ストローク 標準:約600mm
(特注:約800mm)
光源 he-neレーザー(633nm) サンプル設置台 φ120mm
倍率 1倍 ~ 6倍
(手動ズーム)
サンプル調整 3軸ステージ
(x,y,z-shift)
基準レンズ(参照球面) 精度 λ/20 設置容積 w400xd400xh1200mm
(※)測定ストローク長はレンズ設置治具高さ分を含んでおりません
ak-150zf 激光干涉仪机身:6英寸(φ150)超紧凑型 6“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 6英寸(150毫米) 外部尺寸 宽758x长316x高316mm
光源 氦氖激光 (633nm) 质量 约 42 公斤
放大 1倍~6倍(手动变焦) 传感器 标准:640 × 480 像素
参考平面(参考平面)精度 λ/20 权力 交流100v 50/60hz 1a
如果您需要高密度传感器,请联系我们。
ak-150zf/平面系统:6英寸(φ150)
超紧凑型 6“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机制的高品质机器。平板玻璃、反射镜、晶圆等的平面精度测量系统它可以提供垂直类型(左图)或x-box类型(右图:90°折叠)。
测量校准 6英寸(150毫米) 参考平面(参考平面)精度 λ/20
光源 氦氖激光 (633nm) 样品制备 2轴载物台(α,β倾斜)
放大 1倍~6倍(手动变焦) 安装体积(包括隔振台) 宽1500x长800x高1800mm
* 安装区域适用于立式系统,不包括 pc 机架。
ak-40zf 激光干涉仪机身:1.5 英寸 (φ38)
超紧凑型 1.5“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 1.5英寸(38毫米) 外部尺寸 宽121x长127x高248毫米
光源 氦氖激光 质量 约4.5公斤
放大 1倍~6倍(手动变焦) 传感器 标准:640 × 480 像素
参考透镜(参考球面) 表面精度 λ/10 权力 交流100v 50/60hz 1a
ak-40zf/球形系统:1.5英寸(φ38)
超紧凑型 1.5“ 菲索激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高质量机器可提供垂直_downward(左)或vertical_upward(右)。
测量校准 1.5英寸(38毫米) 测量行程 标准:约300mm(特殊订单:约600mm)
光源 氦氖激光 (633nm) 样品安装台 60x60毫米
放大 1倍~6倍(手动变焦)
样品制备 5轴载物台(α,β倾斜,x,y,z移位)
参考透镜(参考球面) 表面精度 λ/10 安装体积(不包括隔振台) 宽250x长250x高800mm
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