旋片真空泵抽除含有水蒸气或颗粒物质气体时需求留意事项
旋片式真空泵的作业原理很简单,就是运用旋片在泵腔内不断滚动因为泵腔容积的改变来取得真空。因为旋片真空泵的作业液大都为真空油,所以在操作和运用进程中需求留意以下几点:
1、假如所抽气体含有许多的水蒸气,在不考虑挑选水环泵或许真空机组的状况下能够挑选旋片泵,可是需求在旋片泵的进气口接通一个冷凝器,然后使水蒸气能够冷却变成水,然后进入泵内然后到达抽真空的目的。可是需求留意的一点是,因为冷凝器没办法把悉数的水蒸气液化掉,所以在运用旋片泵的时分需求留意真空泵油的改变,假如发现真空泵油发生突变或许污浊或许乳化现象,应及时更换真空泵油,这样才干保证旋片泵在作业的时分到达所要求的真空度,否则真空度会下降,乃至损坏真空泵。
2、假如所抽气体中含有固体颗粒,又想挑选旋片泵的话,需求在旋片泵的进气口管路中衔接上一个过滤器,这样能够有用的避免旋片泵因为颗粒物质导致真空度下降的问题,需求留意的是过滤器的合理挑选以及在运用进程中对过滤器的清洁
3、旋片泵不能抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体,也不行做为压缩机和输送泵运用。如有气镇设备的泵,可抽除必定量的可凝汽体。
惯例真空工艺对环境的要求
所谓惯例真空工艺系指没有特殊要求的真空工艺进程。这类真空设备(设备)对真空卫生的要求是:
①但凡处于真空状况或真空中的真空设备的零件或外表,都要求无积存的污染源。外表无尘土、无铁屑、无锈蚀。
②真空设备的真空室外表要润滑,无松软安排和气孔,无死空间,内焊缝无影响真空的缺陷。
③高真空设备中,真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂,要用饱满蒸气压低的分散泵油、硅油作润滑剂。法兰、大门、观察窗的密封部位可涂以高真空油脂。
④无油超高真空体系(也称“清洁的超高真空体系”)应避免油蒸气影响作业介质的纯度、外表特性或作业功能,为某种工艺进程供给清洁的超高真空环境。
超高真空金属体系常用1 cr18ni9ti为结构资料。有些部位可运用无氧铜、可伐合金、纯金、纯银、钨、祖、铝、钦等。绝缘资料常用玻璃和95真空瓷。而高分子聚合物因为或许分解出碳氢化合物污染体系,不能运用。饱满蒸气压较高的资料,如锌及其合金也不能运用。
超高真空体系中资料的出气是约束真空度上升的重要因素。一方面选用清洗、抛光、把零部件放在真空柜中保存或真空预热除气等办法下降出气速率,以改进资料的原始处理状况。另一方面还能够选用真空体系高温烘烤除气的办法,加快资料的出气进程,资料外表吸赞同吸收的气体分子加快放出并被排出,冷却后资料的出气速率会下降几个数量级。因而,关于一般需求到达10-7pa以下压力的真空体系,都必须烘烤除气。
⑤真空设备一般应在温度为15℃-30℃,相对湿度不高于70%的清洁的空气流通的环境中作业,冷却水进水温度不高于250℃。
真空设备地点的实验室或车间应坚持清洁卫生。地上为水磨石或木质涂漆地上、无尘土。为避免机械泵作业时排出的气体对实验室环境的污染,可选用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。
真空设备资料要求
对真空设备壳体资料的首要要求如下:
①必定的机械强度;
②气密性好,不应是多孔结构,不能有裂缝、小孔以及能形成漏气的其它缺陷;
③较低的出气速率和浸透速率;
④在作业温度和烘烤温度下的饱满蒸气压要足够低;
⑤化学稳定性好,不易氧化和腐蚀,不与体系中的作业液休(如油、汞)起化学作用;
⑥温度稳定性好,在必定温度规模内能坚持其真空功能及机械强度;
⑦加工简单,有较好的焊接功能,价格便宜。
常用壳体资料有两大类:金属和玻璃。金属的长处是:机械强度好;简单完成高精度的加工。玻璃的长处是:通明,便于观察设备内部状况;电绝缘;可对内部的金属零件用高频加热的办法除气、能用高频火花枪检漏;加工便利等。玻璃的缺陷是质脆易碎。
1.金属及合金
金属真空壳体资料首要有以铁、铜、铝为根底的金属及合金。如:低碳钢、不锈钢、无氧铜、紫铜、铝以及覆铝、铜、镍的钢或铁材。其间不锈钢耐锈蚀,有较低的出气速率,是常用的的超高真空壳体资料。氢在铝中的分散速率低,故烘烤后的出气速率低,是往后有期望发展的超高真空壳体资料。
2.玻玻和石英
玻璃的品种许多,从真空技术的视点来看,大体上可分为:石英玻璃、“硬”玻璃、“软”玻璃三类。软玻璃有较低的软化温度(490℃ -610℃)和较大的线膨胀系数(82x10-7k-1-92x10-7k-1)。硬玻璃有较高的软化温度(555℃一806℃)和较小的线膨胀系数(35x10-7k-1-50x10-7k-1)。石英玻璃软化温度高达1500℃,线膨胀系数只要5.8x10-7k-1。
因为软玻璃价格便宜,氮浸透速率很低,所以常选作电子管的壳体资料,这类玻璃可与铂丝、杜美丝封接。石英玻璃价格贵,氦浸透速率,只用在高温设备和要求透过紫外光的真空设备中。硬玻璃软化温度适中,便于加工和烘烤除气,耐温差功能好,是真空技术中常用的玻璃,硬玻璃按不同的膨胀系数又可分为钨组玻璃和钥组玻璃。
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