可安装在量产设备中的膜厚检测仪AFW-100W
可安装在量产设备中的膜厚检测仪afw-100w
推荐使用反射光谱膜厚计用于膜厚测量应用，例如硬涂层。
[机理]
当样品受到光照射时，它会根据膜厚显示出*的光谱。薄膜表面反射的光与穿过薄膜并在基板表面反射的光相互干扰。当光的相位匹配时，强度增加，而当光相移时，强度降低。反射计是一种通过分析该光谱来测量薄膜厚度的方法。[优点]
-与 sem 和触针式轮廓仪不同，无需接触即可进行测量。- 与椭偏仪相比，便宜且易于使用。将来也可以安装在量产设备中。
模型afw-100w
用对于一般膜厚
设备配置单元主体、测量台、2 分支光纤 (1.5m)、pc
测量波长范围380-1050nm
膜厚测量范围100nm～1μm（曲线拟合法）
1 μm 至 60 μm (fft)
测量再现性0.2%-1%（视胶片质量而定）
测量光斑直径约7mm
光源12v-50w卤素灯
测量理论曲线拟合法/fft法
外形尺寸 (mm)测量台：w150 x d150 x h115
机身：w230 x d230 x h135
大约重量5.5kg * 不包括 pc
公用事业ac100v 50 / 60hz
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关键词：轮廓仪 椭偏仪
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