晶圆接触角测量仪测试视频及效果-晟鼎精密仪器

晶圆接触角测量仪采用*的ccd数字摄像机，配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度led背景光源系统，搭配三维样品台，可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。同时还设计了伸缩杆结构工作台，能适应在不同用户材料厚度加大的场合。仪器框架可以根据式样的大小适量调节，扩大了仪器的使用范围。软件搭配修正功能，测试多次后的结果可以同时保存在同一报告下，能让用户更好的对材料数据进行管控。该仪器设计美观大方、操作简单、符合用户所需。
晶圆表面分析检测测量系统、晶圆表面张力分析系统适用于半导体晶圆（wafer）工艺的质量控制。提供晶圆（wafers）表面的快速并准确的接触角/表面能分析，从而评估粘性，洁净度及镀膜。采用轻量化的设计、组装方便和新的基于windows标准的用户友好型软件，以创建一个即容又容易使用的接触角测量仪系统。注射滴液机制可以抬起便于装载，消除了对晶圆(wafers)可能产生的损坏。用于晶圆表面分析，同时也可用于其它需要测量较大体积样件的分析应用。样件大可允许300 x 300 x 19mm。
接触角测量仪主机及测试视频的操作视频及图片：
（1）主机使用高强度航空铝合金结构搭配模块化设计理念，自主研发的集成芯片电路控制，保证仪器以佳状态运行；
（2）成像部分使用高性能日本*工业机芯及无失真远心镜头确保成像效果。
（3）工业级可调led单波长冷光源系统，成像更清晰
（4）自动位移平台，实现y、z自动定位测量，定点地位更，测量效率更高
规格：
主机外形尺寸：1200mm（长）*600mm(宽)* 670mm(高) 主机净重：55kg
工作台面尺寸：420mm*420mm
工作台移动：自动，行程160mm，精度0.01mm；上下移动手动，行程20mm，精度0.01mm
进样器移动：自动上下60mm（自动）; 左右30mm
工业镜头：前后移动30mm（微调3mm），0.7x *-4.5x连续变倍变焦显微镜
ccd：sony*高速工业级芯片；镜头角度可调试：仰视、平视、俯视多视角观察
光源：led可调节蓝色基调工业级冷光源；使用寿命达贰万伍仟小时以上
电源及功率：220v / 60hz
晶圆产品处理前word报告及测试图片：我们对样品进行十个点的测试，平均角度72.04度。
检测单位
sindin
试验日期
2018-10-09
操作人员
魏工
打印时间
14:36:02
固体试样
晶圆
液体试样
水
温度(℃)
25
湿度(％)
60
产品名称
物料号
12寸晶圆
备注
供应商名称
视涯
试验要求
未清洗前晶圆测试
大角度
82.38
小角度
67.48
平均角度
72.04
晶圆产品处理后word报告及测试图片：我们对样品进行十个点的测试后，再用等离子清洗机处理，平均角度16.58度。
检测单位
sindin
试验日期
2018-10-09
操作人员
魏工
打印时间
15:36:20
固体试样
晶圆
液体试样
水
温度(℃)
25
湿度(％)
60
产品名称
物料号
12寸晶圆
备注
供应商名称
视涯
试验要求
未清洗前晶圆测试
大角度
25.65
小角度
9.55
平均角度
16.58
标样校检报告：
仪器检验信息
仪器名称：
接触角测量仪
检验时间：
2018.10.08
仪器型号：
　sdc-500
温度：
27
仪器编号:
　sdca1810001
湿度：
68%
测试方法：
椭圆法及圆环法基于大于等于20°使用椭圆法检测小于20°用圆环法检测
校正信息
精度：
±1°
校准度数：
3°60°120°115°
校验标准：
标样----含德国tuv认证的检测报告
圆弧3°
圆弧60°
序号
标样数据（°）
检测数据（°）
误差（°）
序号
标样数据（°）
检测数据（°）
误差（°）
1
3
2.876
0.124
1
60
59.920
0.080
2
3
3.101
0.101
2
60
60.000
0.000
3
3
3.121
0.121
3
60
60.000
0.000
4
3
3.105
0.105
4
60
59.928
0.072
5
3
2.839
0.161
5
60
60.652
0.652
圆弧120°
椭圆115°
序号
标样数据（°）
检测数据（°）
误差（°）
序号
标样数据（°）
检测数据（°）
误差（°）
1
120
120.100
0.100
1
115
115.146
0.146
2
120
120.082
0.082
2
115
114.910
0.090
3
120
120.000
0.000
3
115
115.120
0.120
4
120
120.170
0.170
4
115
115.027
0.027
5
120
119.875
0.125
5
115
115.159
0.159
测试平台移动确认：
合格
滴液精度：0.1μl
合格
测量范围：0-180°
合格
测量软件：
合格
测量精度：±0.1°
合格
测量重复性精度：±1°
合格
mapping功能
合格
外观部件：
合格
输出测量报告功能
合格
检测数据：
合格
综合判定：合格
校检单位：东莞市晟鼎精密仪器有限公司
效验人员：赵卫主管：张新飞
晶圆系列接触角测量仪对于工艺的表面涂覆评估；
表面污染物检测；
表面亲疏性的研究；
表面润湿性能的判断；
涂覆均匀性检测；
涂覆质量评估；
表面清洁度检测；
研究粘附性、润湿特性、粘接质量、表面处理；
半导体晶片、硬盘、平板显示器和生物材料等表面涂层的吸收研究。