空气弹簧在精密光学平台隔振系统中应用-安合盟
在精密仪器仪表、精密测量、精密加工等技术的发展过程中,精密机械系统的工作平台的振动控制技术始终是需要解决的根本问题。 本文以研究精密光学平台的振动控制为主要目的,积极吸收相关学科的新思想、新理论、新技术,采用理论研究与计算机仿真相结合的研究方法,系统地进行了平台的动力学分析和振动控制的技术基础研究。 本文从满足光学平台的隔振要求出发,讨论了光学平台的主、被动控制问题。首先,本文详细分析了作为振动隔离关键部件的空气弹簧的性能,着重讨论了空气弹簧刚度与工作压力、附加气室体积的函数关系,分析了阻尼对隔振传递率的影响;其次,给出了一般振动意义下的光学平台的动力学方程,求解了结构的固有特性、研究了支腿的分布问题;zui后,对系统进行了主、被动控制的设计,并分别进行了计算机仿真分析,说明隔振系统的效果。
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