激光共聚焦轮廓显微镜
产品特点：
激光共聚焦轮廓显微镜s neox的突出特点：
一款的3d光学测量仪
s neox整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。
和
led环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。
高分辨，高可重复性和可溯源
即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率
高测量速度
s neox的测量速度可以达到170万点/秒。
模块化和可扩展性
新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合
全自动
测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等
激光共聚焦轮廓显微镜s neox的主要技术参数：
位移范围（x轴、y轴、z轴）：100mm×100mm×100mm
样品表面结构：表面形貌ra＞9nm，lc=2µm，取决于表面结构
样品高度：100mm ～ 345mm
样品重量：30kg。
水平分辨率：0.44µm
垂直分辨率：10nm
扫描高度：22.5mm
扩展视野范围：10000mm2
单一方向扫描范围：100mm
测量速度:170万个测量点/秒
小测量高度：0.01µm
测量高度：22.5mm
测量范围：10000mm2
测量形貌长度：100mm
小可重复性：0.001µm
小测量粗糙度（ra）：0.03µm
小测量粗糙度（sa）：0.015µm
小测量半径：1µm
小测量垂直角度：20°
大测量倾斜角度：87°
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