真空炉按结构分可分为立式及卧式两种系列,立式系列又分为钟罩升降式与底部托盘升降式两种。卧式系列又分单开门结构与前后双开门结构两种。炉体均采用水冷夹壁结构。
加热保温室采用全金属型及复合型两种可供选择,全金属型采用耐热不锈钢与钼屏组成;复合型采用耐热不锈钢、钼屏与碳毡、莫来石纤维或硅酸盐纤维组成。具体选择取决于用户的工艺条件和对工艺环境的要求。
加热器有镍铬丝(带)、钼丝(带、棒)、石墨等几种类型,具体的选择取决于用户要求的zui高温度。加热器分布方式有四面加热型和加热两种,确保用户对炉内温度均匀型的要求。
冷却系统有罗茨鼓风机外循环结构、离心风机外循环结构、冷壁离心风机内循环结构等几种类型,满足不同降温速度的要求。
抽真空系统有离子泵+涡轮分子泵+机械泵、涡轮分子泵+机械泵、扩散泵+罗茨泵+机械泵、罗茨泵+机械泵、低温冷凝泵+机械泵等几种类型,根据极限真空度指标选择。
温度控制采用进口智能温控仪,能实现升温、恒温、降温的自动控制功能;具有工艺曲线存储功能,可存储多条不同的工艺曲线;具有升降温速度可调及准确的时钟功能,可以同时显示实际温度和设定温度等多种参数;具有pid参数自运算及掉电保护功能。
具有完善的报警及保护措施。
配有进口多点记录仪,可记录全部工艺过程的真空度、压力、温度等工艺曲线,便于工艺分析、质量监控及生产管理。
真空计可选用高可靠的进口数字智能真空计或国产质优的真空计,确保真空度与温度控制连锁,满足工艺要求。
整个工艺过程控制采用进口可编程序控制器(plc)完成,全部动作均采用连锁保护,具有手动及自动两种工作方式,用户可以选择全手动工作方式,也可以选择工控机群控多台的方式。
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