巴鲁夫balluff电容式传感器优点与劣势

巴鲁夫balluff电容式传感器特点优势,优点。
balluff电容式传感器与电阻式、电感式等传感器比较有如下一些优点:
(1)高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小,输人能量也很低。巴鲁夫balluff电容式传感器因带电极板间静电引力极小(约几个10-5 n),因此所需输入能量极小,所以特别适宜用来解决输入能量低的丈量问题,例如丈量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,能够做得很灵敏,分辨力十分高,能感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极资料无关,有利于选择温度系数低的资料,又因自身发热极小,对稳定性影响甚微。
(3)结构简略,适应性强,待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。巴鲁夫balluff电容式传感器结构简略,易于制造,可做得十分小巧,以实现某些特殊的丈量;能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中,也能对带有磁性的工件进行丈量。
(4)动态呼应好。因为极板间的静电引力很小,可动部分做得很小很薄,因此其固有频率很高,动态呼应时间短,能在几兆赫的频率下工作,特别适合动态丈量,如丈量振荡、瞬时压力等。
(5)能够实现非触摸丈量,具有平均效应。例如非触摸丈量回转轴的振荡或偏疼、小型滚珠轴承的径向间隙等。当选用非触摸丈量时,电容式传感器具有平均效应,能够减小工作表面粗糙等对丈量的影响。
巴鲁夫balluff电容式传感器存在的不足之处如下:
(1)输出阻抗高,负载能力差。
(2)寄生电容影响大。
电容式传感器的初始电容量很小,而传感器的引线电缆电容(lm~2m导线可达800 pf)、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等寄生电容却较大,这一方面降低了传感器的灵敏度;另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的,将使传感器作业不稳定,影响丈量精度,其变化量乃至超过被丈量引起的电容变化量,致使传感器无法作业。因而对电缆的选择、装置、接法都要有要求。
为减小电缆分布电容影响,可将电子线路的前级装在离传感器敏感部分很近的地方,或选用所谓双层屏蔽等电位传输技能,又称驱动电缆技能。这种方法的基本思路是:连接电缆选用表里双层屏蔽,使内屏蔽层与被屏蔽的导线电位相同,因而两者之间没有容性电流存在,这样使引线与内屏蔽之间的电缆电容不起作用,外屏蔽仍被接地而对外界电场起屏蔽作用。外屏蔽接地后,对地之间电容将成为1:1放大器的负载,它也与电容式传感器的电容无关。这样不管电缆形状和方位怎么变化,都不会对传感器的作业产生影响。试验证明:选用驱动电缆技能,即便电容式传感器电容较小,在传输电缆长达10 m时,传感器仍能很好地作业。
两点留意:
作业频率等于或挨近谐振频率时,谐振频率破坏了电容的正常作用。因而,作业频率应该先择低于谐振频率。电容式传感器的有效电容除与位移有关外,还与角频率有关。因而,在实际应用时有必要与标定的条件相同。
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