导体电阻率测试仪的主要指标分享
导体电阻率测试仪是根据四探针原理，适合半导体器材厂，材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率，方块电阻(簿层电阻)，也可以用作测量金属薄层电阻，经过对用户、半导体厂测试的调查，根据美国astm标准的规定，在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破，半导体电阻率测试仪更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要，成为普及型的电阻率测试仪，具有测量精度高，稳定性好，输入阻抗高，使用方便、价格低廉等特点。导体电阻率测试仪的主要指标如下：
1.测量范围：电阻率10-3—103ω-cm，分辩率为 10-4ω-cm ，可扩展到105ω-cm
方块电阻10-2—104ω/□，分辩率为10-3ω/□，可扩展到106ω/□
薄层金属电阻10-4—105ω，分辩率为10-4ω
2.可测半导体材料尺寸：直径φ15—φ125mm; 长度：150mm(可扩展500mm)
3.测量方式：轴向、断面均可
4.数字电压表：(1)量程：20mv(分辩率：10μv)、200mv、2v
(2)测量误差：±0.3%读数±1字
(3)输入阻抗：大于108ω
(4)显示3 1/2 位红色发光二极管(led)数字显示
0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示
5. 恒流源：由交流供电，具有良好的防泄漏隔离功能
(1)直流电流：0—100ma连续可调
(2)量程：10μa、100μa、1ma、10ma、100ma
(3)分辩率：10na、0.1μa、1μa、10μa、0.1ma
(4)电流误差：±0.3%读数±2字
6.电性能模拟考核误差：<±0.3%符合astm指标
7 .测试探头：(1)探针机械游移率：± 0.3% 符合astm 指标
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2.可测半导体材料尺寸：直径φ15—φ125mm; 长度：150mm(可扩展500mm)
3.测量方式：轴向、断面均可
4.数字电压表：(1)量程：20mv(分辩率：10μv)、200mv、2v
(2)测量误差：±0.3%读数±1字
(3)输入阻抗：大于108ω
(4)显示3 1/2 位红色发光二极管(led)数字显示
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5. 恒流源：由交流供电，具有良好的防泄漏隔离功能
(1)直流电流：0—100ma连续可调
(2)量程：10μa、100μa、1ma、10ma、100ma
(3)分辩率：10na、0.1μa、1μa、10μa、0.1ma
(4)电流误差：±0.3%读数±2字
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7 .测试探头：(1)探针机械游移率：± 0.3% 符合astm 指标
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