浅述小型甩带机的开关机操作

一、小型甩带机的开机
1.开总电源：将对面墙壁上左边的电源闸刀向上拨至“on”；
2.开冷却水：将设备后水管总开关扭至与水管平行，并将两个水阀逆时针旋转45°；
3.开机械泵：按下机械泵开机电源按钮，等待2分钟，待系统内空气抽净；
4.开扩散泵：按下扩散泵开机电源按钮，等待50分钟，待扩散泵预热*；
5.开铜辊电机：按下电机“调速”电源按钮，并按变频器上的“run”一次，运行变频器；
注意：预热时务必确保机械泵和扩散泵阀门处于关闭状态。
6.小型甩带机开腔门：将腔体右侧的氩气充气阀顺时针旋转90°，给腔体充氩气使气压表指针指向“0”并关上阀门，然后利用扳手松开螺丝并将腔门打开。
二、小型甩带机的关机
1.清理内腔：
①顺时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为5m/s；
②用沾有丙酮的纸巾擦拭铜辊外径表面；
③用金相砂纸轻轻擦拭外沿；
④重复第②步；
⑤逆时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为“0”；
⑥用沾有丙酮的纸巾擦拭腔体其他地方。
2.关腔门：关上腔门，并用扳手紧固螺丝；
3.按变频器“stop”使变频器关；
4.按起“调速”电源按钮；
5.按起扩散泵电源按钮；
6.拉出机械泵拉杆抽低真空至气压表指示为“-0.1”后在推入拉杆；
7.等待一小时后关闭机械泵电源按钮；
8.关闭冷却水阀；
9.将总电源闸刀拉下至“off”。