真空等离子设备5种清洗机报警类型及故障处理
真空等离子设备5种清洗机报警类型及故障处理：
等离子设备是一种用来对物料或产品进行等离子表面处理的工艺设备，而真空等离子设备就是其中之一，在使用过程中，发生故障或报警时，该如何处理？现在诚峰智造把一些常见问题罗列出来，希望能对你有所帮助。
真空等离子设备出现泵热过载保护：
在等离子处理设备出现真空泵热过载保护时，要检查系统的参数是否发生变化，因为当设备突然断电时，系统的所有参数都会归零，从而引起等离子设备的这种报警。在检查系统参数不变的情况下，需要确认热继电器是否自动保护，按下复位键，启动真空等离子处理系统的真空发生系统。如果没有自动保护，再检查一下电路是否有断线或短路现象。如果上面没有任何异常，再次检查真空泵的情况。
真空等离子设备的放空气压过低：
当发生这种故障时，可能是气体没有打开，或者气体消耗过大，需要检查用于空腔底部破真空的气路电磁阀是否工作正常，以及是否有断路或短路。
真空等离子设备真空泵的倒计时故障：
如遇故障，请先检查真空泵的抽空能力，排除故障后再按复位键，材料渗漏及真空门不关均会影响真空泵的抽空能力，此外还要逐个检查等离子真空处理系统中的各个节点，看是否有管道连接不良或损坏。
cda压力过低时报警：
这种报警又称破空气压过低报警，是由于压缩空气的压力不足所致，主要出现在配置高真空气动挡板阀的等离子处理设备中，出现这种报警需要检查cda是否正常供气到设备端。确定供气压力是否过高或过低，减压表的报警值设置是否正确，另外还要检查电气线路。
真空计发生故障时的报警：
真空计故障报警可能是真空表损坏所致，需要检查真空表的控制线路，确定真空表是否发生故障或短路。
真空等离子体处理系统的急停不能复位或已被按压，需开启急停开关：
这时要检查急停是否被压住，如果没有，要检查急停线。
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如遇故障，请先检查真空泵的抽空能力，排除故障后再按复位键，材料渗漏及真空门不关均会影响真空泵的抽空能力，此外还要逐个检查等离子真空处理系统中的各个节点，看是否有管道连接不良或损坏。
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这种报警又称破空气压过低报警，是由于压缩空气的压力不足所致，主要出现在配置高真空气动挡板阀的等离子处理设备中，出现这种报警需要检查cda是否正常供气到设备端。确定供气压力是否过高或过低，减压表的报警值设置是否正确，另外还要检查电气线路。
真空计发生故障时的报警：
真空计故障报警可能是真空表损坏所致，需要检查真空表的控制线路，确定真空表是否发生故障或短路。
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这时要检查急停是否被压住，如果没有，要检查急停线。
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