KRI 考夫曼聚焦射频离子源 RFICP380 辅助制备原子探针样品
上海某大学研究中心采用伯东kri考夫曼射频离子源fricp380辅助制备三维原子探针样品,主要是对三维原子探针样品进行蚀刻,使样品变薄
伯东kri射频离子源rficp380技术参数:
射频离子源型号
rficp380
discharge阳极
射频rficp
离子束流
>1500 ma
离子动能
100-1200 v
栅极直径
30 cm φ
离子束
聚焦,平行,散射
流量
15-50 sccm
通气
ar, kr, xe, o2, n2, h2,其他
典型压力
< 0.5m torr
长度
39 cm
直径
59 cm
中和器
lfn 2000
运行结果:
1. 采用kri考夫曼射频离子源fricp380可以克服锆合金脆断的问题
2. 制备得到的样品满足了三维原子探针观察样品的要求
3. 可实现三维原子探针样品的快速,便捷,高效制备
伯东是德国pfeiffer真空泵,检漏仪,质谱仪,真空计,美国kri考夫曼离子源,美国hva真空阀门,美国intest高低温冲击测试机,美国ambrell感应加热设备和日本ns离子蚀刻机等进口品牌的代理商.
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