扫描电镜简单操作流程
一、样品装载和开机：
1、样品制作、安装。（根据样品导电性强弱来判定是否镀膜）
2、打开电脑、显示器及电镜电源。
3、替换样品台，按exchange 键，抽真空。（换样前若样品室有真空，需提前释放。）
4、开软件，双击桌面的sense-sem图标,等待软件运行。
ss-150扫描电镜
二、测试：
1~11为整个测试的操作流程，14为练习内容,可以比较样品台高度z不同，电镜测出图片效果。z，图片景深好。z比点高，图片清晰度好。
1、调样品台高度，z轴调点位置 ，最小值-22.0（大约）。【实际测样中样品台高度要根据样品情况来调整】
2、选合适加速电压、探测器类型及高真空模式后，点击“start”开始调试。
3、放大画面前实时图像若为白色，向右调节聚光透镜电流cl1。（cl2为最右端）。
4、collector-clt收集器、amplifier-pmt放大器，一般调。
5、在实时图像模式调粗聚焦，z为-22.0(自动平台控制盒有显示)时，w/d调为20（不同机型，w/d值有所差异），图像会清晰。z固定一个高度时，w/d只需调一次。
6、移动样品台位置，调x/y轴和beam shift光束位移使样品测试部位在画面中间。
7、打开wobble功能，旋转光阑杆x/y轴，使光阑孔对齐，图像不晃动。（ss-60无此步骤）
8、调微聚焦，画面清晰。放大需要的倍数，重复调微聚焦。
9、调stigmation消像散，x、y值±20%，重复调微聚焦，图像会更
清晰。（图片放大倍数小于3千-5千倍，可不用调stigmation。）
10、适当调整contrast对比度和 brightness亮度。
11、photo mode3扫描，存储图片。
12、如需测试样品其它部位，缩小倍数，重复上述6~11步骤。
13、如需测试其它样品，先点击软件“stop”按钮，待显示出start，按设备上的exchange键，释放真空，之后更换样品，再按exchange 键，抽真空，重复以上1~11步骤。
14、改变样品台高度，z轴-12，w/d调为5，图像会清晰。再重复上述6~11步骤。
三、关机：
1、点击软件“stop”按钮，停止采集图像，再关软件退出。
2、只关电镜电源，不要释放真空。（样品室真空状态，可保护钨丝不被大气氧化）
3、如果不用电脑，可以关闭电脑。
注意：
1、sense软件打开前，电镜电源需开启，sem-pc电缆连接良好，否则会提示报错。
2、如果在第二步的2中，点击“start”前，真空需抽完，否则点击“start”无反应；点击“start”后，电子束电流值显示40~60ua，实时画面会不出图像，此时需更换新钨灯丝。
3、在实际中会需要不同倍数的图片，所以在第二步的8中，放大倍数应按需要的倍或更大来调整，图像调清晰后,缩小需要的倍数即可，不用再聚焦。
4、样品室内必须保持清洁，不允许有杂物、碎屑等触碰到探测器。
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13、如需测试其它样品，先点击软件“stop”按钮，待显示出start，按设备上的exchange键，释放真空，之后更换样品，再按exchange 键，抽真空，重复以上1~11步骤。
14、改变样品台高度，z轴-12，w/d调为5，图像会清晰。再重复上述6~11步骤。
三、关机：
1、点击软件“stop”按钮，停止采集图像，再关软件退出。
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3、如果不用电脑，可以关闭电脑。
注意：
1、sense软件打开前，电镜电源需开启，sem-pc电缆连接良好，否则会提示报错。
2、如果在第二步的2中，点击“start”前，真空需抽完，否则点击“start”无反应；点击“start”后，电子束电流值显示40~60ua，实时画面会不出图像，此时需更换新钨灯丝。
3、在实际中会需要不同倍数的图片，所以在第二步的8中，放大倍数应按需要的倍或更大来调整，图像调清晰后,缩小需要的倍数即可，不用再聚焦。
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