真空测量技术具有以下特点:
(1)测量范围广。 真空技术的发展已经实现了1.1×105pa到10-14pa的压力范围,其宽度为19个数量级。 因此,不可能依靠测量原理和真空计来实现整个真空测量范围。 不同类型的真空计对应于不同的压力测量范围,即不同的范围。
(2)大多数是间接测量。 除高压真空区域(105〜10pa)外,均使用压力的直接测量,而低压空间气体的大多数测量是通过利用低压气体的某些特性(例如导热,电离)进行的。 等等)用于间接真实空气空间测量,因此校准相对真空计更为重要。
(3)通常使用电气测量技术。 大多数间接测量真空计都使用非电气测量技术,因此测量响应速度快,灵敏度高,并为自动化创造了条件。
(4)测量值与气体类型有关。 大多数真空计的读数与被测气体的类型和成分有关,因此您应注意被测气体的类型和成分,以免出现误差。
(5)测量精度不高。 在间接压力测量过程中,通常需要引入外部能量(例如热能,电能,机械能,辐射能等)。 由于引入了这些外部能量,不可避免地会发生测量误差,并且稀薄气体可能产生的测量信号非常微弱。 这确定真空计的测量精度远低于其他物理仪器。
因此,将真空测量基准仪器和标准仪器的精度设置为(2〜10)×10-2,并且工作仪器的测量误差在±20×10-2之内相对准确。 真空定时的选择应考虑以下几个原则:
(1)所选择的真空计在所用设备要求的压力范围内是否具有足够的测量精度和整体性能;
(2)被测气体是否会损坏真空计;
(3)选定的真空计为所测气体空间是否会影响;
(4)真空计测量的压力值是全压还是分压,是否已校准,以及仪器的灵敏度是否与被测气体类型有关。
(5)选择的真空计是否可以实现连续测量,电气指示和响应时间?
(6)仪器的稳定性,可靠性和使用寿命是多少?
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