气浮运动台晶圆测量方案
晶圆测量
晶圆测量系统在以生产快速运行时，能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高，精度好，能够快速响应使系统能够快速稳定下来，达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷，满足晶圆每小时生产效率的关键要求，气浮运动台成为理想的选择。
根据本行业应用，北京瑞邦精控研发出qfhds双轴h形超精密气浮运动台，同时满足许多高精度应用，如半导体加工，光子学，精密扫描，以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备，经过大量的测试，可确保达到高的精度和稳定性性能。
指标规格
运动轴
x(扫描)
y(步进)
x(扫描)
y(步进)
x(扫描)
y(步进)
）
400
400
500
500
600
600
重复定位精度 (nm)
±75
±100
）
0.3
）
1
）
4
定位稳定性（nm大负载（kg）
±1
roll（arc-sec）
±1
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x(扫描)
y(步进)
x(扫描)
y(步进)
x(扫描)
y(步进)
）
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400
500
500
600
600
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