X射线光电子能谱仪的优缺点
x射线光电子能谱仪的优缺点
x射线光电子能谱仪(xps)是一种*的表面分析技术，它利用x射线激发样品表面元素的内层能级电子信号，再用电子能谱仪检测光电子的动能及强度，进而确定元素的种类及价态等信息，主要用于研究材料极表面的元素及元素不同价态组成。本文将介绍xps的优缺点。
xps的优点
1、能快速、同时对除h和he以外的所有元素进行元素定性、定量分析，几分钟内就可完成；可以直接测定来自样品单个能级光电发射电子的能量分布，且直接得到电子能级结构的信息。
2、对试样与探测器的几何位置要求低：对w.d的要求不是很严格；可以在低倍率下获得x射线扫描、面分布结果。
3、能谱所需探针电流小，是一种无损分析。对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子试样、玻璃等损伤小。
4、是一种高灵敏超微量表面分析技术。分析所需试样约8-10g即可，灵敏度高达10-18g，样品分析深度约2nm。
xps的缺点
1、分辨率低，比x射线波长色散谱仪的分辨率(~10电子伏)要低十几倍；
2、峰背比低(约为100)，比x射线波长色散谱仪的要低10倍，定量分析尚存在一些困难；
3、si(li)探测器必须在液氮温度下保存和使用，因此要保证液氮的连线供应；
4、不能分析z小于11的元素，分辨率、探测极限以及分析精度都不如波谱仪。因此，它常常跟波谱仪配合使用。
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3、能谱所需探针电流小，是一种无损分析。对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子试样、玻璃等损伤小。
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