适用于 6 英寸晶圆和掩模的长寿命紧凑型准分子 VUV 172nm 光源介绍
适用于 6 英寸晶圆和掩模的长寿命紧凑型准分子 vuv 172nm 光源介绍
风冷紧凑型准分子灯单元，灯长160mm，该单元专为vuv 172波长的照射而设计，系统结构简单，具有低成本、高性能的特点，准分子uv灯可实现低温精密处理。
紧凑型准分子uv172nm uv光源是兼容6晶圆和掩模基板的灯。其特点是简单紧凑、高可靠性风冷型、无需更换灯管的长寿命准分子灯。*1电源为ac100v。
特点
长寿命风冷准分子灯。无需更换灯管
本来，准分子紫外线灯的结构是灯泡内部没有电极，因此理论上它们被认为是长寿命灯，在国外有时被称为准分子灯。然而，如今追求高照度的准分子灯由于灯管材料更轻更薄、灯管温度更高以及紫外线能量导致的玻璃变形，往往会导致灯管寿命较短，从而导致成本较高。
根据多年的现场经验，excimer co., ltd.的风冷紧凑型准分子灯需要定期更换外部电极、高压电缆和高压部件，但不需要更换内部电极。灯管本身，实现低成本和高可靠性。*1
特征
风冷方式，安装方便。
灯管灯长160mm
电源 ac100v 50/60hz
瞬时开/关灯功能。
适合研究和开发。
应用领域
表面润湿性和改性
光化学
反应性oh自由基过程
抗蚀剂去除
uv o3工艺
规格
波长 172纳米
灯长 160毫米（灯箱型）
功能 立即开/关灯
灯箱尺寸（灯箱类型） 宽200×高45×深80mm
电源尺寸（灯箱类型） 宽250×高140×深200mm
力量 交流100v 60hz 1a
奥普廷斯 臭氧过滤器、工艺气体供应装置
*由于采用紧凑型风冷设计，连续点亮时间在10分钟以内。
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