质量流量控制器 型号;DP-D07-7B

质量流量控制器 型号;dp-d07-7b
dp-d07-7b型 质量流量控制器
仪器简介:
质量流量控制器(mfc)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数:
满量程流量范围(n2)
5sccm~10slm
控制范围
2~100%f.s.
阀类型(及阀初始状态)
电磁调节阀(常闭)
准确度
±1.5%f.s.
线性
±0.5~1.5%f.s.
重复精度
±0.2%f.s.
响应时间
≤7sec
工作温度范围
5~45℃
工作压差
0.1~0.5mpa
耐压
3mpa
漏气率
1×10-8atm.cc/sec he
密封材料
氟橡胶(或氯丁橡胶)
电插头形式
db15 pin(female)
接头选择
vcr 1/4”或φ4hose、φ6hose
swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量
1.1kg

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