超纯水设备/EDI高纯水系统工艺流程及应用范围
水质达到美国astm标准，电子部超纯水水质标准（18mω/cm，15mω/cm，2兆欧/厘米和0.5兆欧四级) 。
◆原水→原水箱→原水泵→砂过滤器→碳过滤器→软化过滤器→高压泵→保安过滤器→反渗透装置→中间水箱→edi增压泵→edi装置→精密过滤器→用水点
◆源水→源水储水箱→增压泵→机械过滤器→活性炭过滤罐→阻垢系统→主机泵→不锈钢保安过滤器→反渗透设备－中间水箱－混床增压泵－阴阳离子交换混床－纯化水箱－核级混床增压泵→精制核能级混床→紫外线杀菌器→0.22u精密过滤器－用水点
◆原水箱→原水增压泵→多介质过滤器→铁锰过滤器→软化水设备→反渗透精密过滤器→一级主机泵→一级反渗透净化水装置→二级主机泵→二级反渗透净化水装置→纯水箱－edi增压泵→edi高纯水装置→紫外线杀菌器－0.22或0.5 μ m精密过滤器(或称保安过滤器)－用水点
超纯水设备/edi高纯水系统应用范围
◆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
◆超纯材料和超纯化学试剂；
◆实验室和中试车间
◆汽车、家电表面抛光处理；
◆其他高科技精微产品。
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