光学视频接触角测量仪在半导体晶圆玻璃面板的应用
光学视频接触角测量仪在半导体晶圆玻璃面板的应用
水滴角测量仪/接触角测量仪的算法必须能够实现修正重力影响条件下准确分辨左、右角度值的能力。水滴角测量仪或接触角测量仪自20世纪70年代开始生产，且实现了很好的销售业绩。
利用水表面张力灵敏度非常高的特性，通过左、右角度偏差值以及水接触角的变化范围，定义材料表面的清洁度，分析等离子清洗（plasma）效果。
特别指出的是，如上所述，重力会影响水滴角的测量。通常而言，量角器法的水滴角测量仪或接触角测量仪是通过控制进液的精度想达到实现或提升重复性的目标，控制的液滴量通常为2ul左右。但是，即使是2ul，此时仍然存在重力影响，测值结果仍然与真正的young-laplace方程拟合算法得出的数据不一致的。且，通过而言，除非采用喷射针头，其他的针头进液方法均需要通过移液，即将水滴接触到固体样品后，利用固体的表面张力将水滴吸下去。正是由于固体表面张力不同，很难确保终滴下的液滴量是*一致的。需要注意的是，没有一致的两个液滴的，也不能说0.1ul误差就会导致不受重力影响了。
更值得注意的是，测试水滴角值时，我们需要利用左、右角度变化以及测值精度的偏差来判断清洁度，两个数据是综合起来运用的。因而，通过滴多个液滴并评估水滴角多个值的变化事实上已经是非常效率低下，准确度不高的技术了。
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