为什么要使用三氟化氮检测仪?三氟化氮有什么危害?

为什么要使用三氟化氮检测仪?三氟化氮有什么危害?三氟化氮(nitrogen trifluoride)化学式nf₃,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
(东日瀛能 sk/mic-600-nf3-y 在线式三氟化氮检测仪)
三氟化氮是低毒性物质,但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。吸入高浓度nf3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度nf3能损伤牙齿和骨骼,使牙齿生黄斑,骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解,甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡,但出现高铁血红蛋白血症,当吸入10000ppm·l小时有死亡,在2500ppm时吸毒后4小时死亡。容许浓度:10ppm(29mg/m3)。
如何才能不超过这个10ppm浓度限制呢?就需要用到三氟化氮检测仪,使用东日瀛能三氟化氮气体浓度检测仪可以检测其浓度,固定式三氟化氮检测仪安装于气体最易泄露的地点,其核心部件为气体传感器,当三氟化氮泄露后挥发出来的气体传感器接触反应,固定式三氟化氮监测仪便会启动自身的报警功能声光报警,警醒工作人员。
(东日瀛能 sk/mic-800-nf3-y 便携式三氟化氮检测仪)
工作人员另外可佩戴便携式三氟化氮检测仪。便携式三氟化氮泄漏检测仪可连续检测作业环境中三氟化氮浓度。采用进口电化学传感器,具有很好的灵敏度和出色的重复性;三氟化氮检测仪采用嵌入式微控制技术,菜单操作简单、功能齐全、可靠性高。
关键词:清洗剂 芯片 传感器

怎样延长带式压滤机主要配件的使用寿命
PZX-7DL便携式超声波测厚仪特点和性能参数
ASONE亚速旺气体置换防潮箱(BG型)GD-BG1S
太阳能曝气机维护注意事项
直埋式天然气单放散PE球阀SDR11燃气用埋地聚乙烯球阀的性能规范
为什么要使用三氟化氮检测仪?三氟化氮有什么危害?
创新型高稳定性低温冷却液循环器
食品添加剂 十四酸乙酯(肉豆蔻酸乙酯) - 折光指数和相对密度的检验
购买了个体粉尘采样器不会使用怎么办?聚创环保一秒教会您
实验室新手操作冷热冲击箱一般错误操作
造成单级管式集电器发生电刷磨损重要原因
防火布硅胶布实力供应商
定做实验台生产厂家-实验台边台多少钱-实验台生
压缩弹簧的形状有哪些
如何选择合适的液位计?
安富利与汇中续签智能水表分销协议并扩大规模
校园科普气象站的优势
延长机床工作使用寿命的方法快来看看吧!
HS-P931E+
什么是监控摄像头的CCD,有什么作用