探针台技术指导
探针台技术指导
选型注意事项：
※大需要测几inch的晶圆或者器件！是否需要测试破片或者单颗芯片！小的单颗芯片尺寸！
※探针台机械精度要求多高！
※点测样品的电极尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是fib制作的mini pad，或者ic内部的metal线路！
※多需要几个探针同时去点测！
※是否会用到探针卡测试！
※光学显微镜的小分辨率需要用到多少！
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做lc液晶热点侦测！
※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下！低
电容要求是否要做到0.1pf！是否有射频需求！
※接驳的测试仪器接口有哪些！
※测试环境时是否会需要加热或者降温！是否需要密闭腔体！
※对chuck的漏电要求怎样！是否需要添加低阻抗chuck！
※是否需要防震桌！
※若添置防震桌，是否有压缩空气！
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